Publication
Optics & Photonics Japan 2025, 11aP15 (2025)
広帯域デュアルコム分光による膜厚計測
Author
武子 尚生1、高橋 直人2、是澤 秀紀3、安井 武史4、中嶋 善晶1(1. 東邦大学、2. 大塚電子株式会社、3. 大阪大学、4. 徳島大学)
Category
Domestic Conference presentation